Van khe ⁽²⁾

・Sản phẩm này phù hợp để đóng vai trò là van phân chia giữa buồng khóa tải và buồng chuyển hoặc giữa buồng chuyển và buồng xử lý trong thiết bị bán dẫn hoặc thiết bị khác.

・Tuổi thọ dài: 3 triệu chu kỳ (trong phạm vi nhiệt độ tiêu chuẩn) ・Tạo hạt thấp: Giảm 1/5 trở lên (so với sản phẩm hiện có) ・Bảo trì dễ dàng hơn Dễ dàng thay thế ống thổi Cổng có thể được thay thế từ…