Thiết bị chân không cao ⁽¹¹⁾

・Xi lanh khí để vận chuyển trong môi trường chân không (1,3 x 10-4 Pa)

・Sản phẩm này phù hợp để đóng vai trò là van phân chia giữa buồng khóa tải và buồng chuyển hoặc giữa buồng chuyển và buồng xử lý trong thiết bị bán dẫn hoặc thiết bị khác.

・Tuổi thọ dài: 3 triệu chu kỳ (trong phạm vi nhiệt độ tiêu chuẩn) ・Tạo hạt thấp: Giảm 1/5 trở lên (so với sản phẩm hiện có) ・Bảo trì dễ dàng hơn Dễ dàng thay thế ống thổi Cổng có thể được thay thế từ…

・Ngăn chặn dòng dầu ngược qua bơm thô (bơm quay) vào buồng ・Giảm nhân công trong đường ống nhờ cấu trúc van xả tích hợp

・Cấu trúc tích hợp van/van kim chỉ cần 1/4 không gian đường ống so với các mẫu trước đó. ・Số lượng hạt đã giảm đáng kể nhờ sử dụng màng ngăn kim loại trong phần tấm. ・Có thể điều chỉnh lưu lượng của cả nguồn…

・Áp suất vận hành tối thiểu: 1 × 10-6 Pa (abs) ・Rò rỉ: Bên trong 1,3 × 10-9 Pa·m3/s, Bên ngoài 1,3 × 10-11 Pa·m3/s ・Có sẵn 2 loại phụ kiện và ren cái. ・Điện năng tiêu thụ: Max. Giảm 25% ・Trọng lượng: Tối đa.

・Đúc chính xác, thành phần thống nhất ngăn chặn sự tích tụ khí. ・Dòng XM có thể hoán đổi với van góc chân không cao bằng nhôm dòng XL. Lưu ý) Kích thước 16 không có sẵn cho loại nội tuyến.

・Kết nối và nhả một chạm (Không cần dụng cụ.)

・Khả năng kháng flo cao ・Lượng khí thải tối thiểu ・Ô nhiễm tối thiểu từ kim loại nặng ∗ XLA(V)/C/F(V)/G với kích thước mặt bích từ 16 đến 80 đã được đã ngừng sản xuất vào tháng 9 năm 2017. Vui lòng chọn dòng XLA(V)-2/XLC-2/XLF(V)-2/XLG-2.

・Cải thiện độ bền của ống thổi (Kích thước mặt bích 100 và 160) ・Tuổi thọ của hai triệu chu kỳ ・Không gian cần thiết cho thiết bị có thể giảm Không hạn chế hướng xả (hai chiều: từ phía phần tử van sang phía…